Thin Glass Transport System의 최적설계 (실험 기반)

설계요구사항
  • Air Film Thickness의 평균값 최대화
  • Air Film Thickness의 최소값 조건 만족
  • Air Film Thickness의 편차값 조건 만족
설계 문제 정식화
  • 설계변수 (5)
    Linear Motor 속도 (1)
    Smart Nozzle Rail Vacuum/Pressure Level (2)
    Smart Nozzle Plate Vacuum/Pressure Level (2)
  • 목적함수 (1)
    Air Film Thickness의 평균값 최대화
  • 구속조건 (2)
    Air Film Thickness의 최소값 조건 만족
    Air Film Thickness의 편차값 조건 만족
설계 소프트웨어

  • 설계 : PIAnO
최적설계 절차 

  1. 실험계획법대로 실험 수행
  2. 실험계획법 데이터를 이용하여 메타모델 생성
  3. 메타모델 기반 최적설계 수행
최적설계 결과 

  • 모든 구속조건을 만족하면서 초기모델 대비 Air Film Thickness의 평균값 약 120% 향상